设备简介

KC3111功率半导体高精度静态特性测试系统（面向工厂生产端），基于全新三代半SiC, GaN器件和模块以及车规级模块的新兴要求而进行的一次高标准产品开发。脉冲信号源输出方面，高压源标配2000V（选配3.5KV）,高流源标配1KA（选配4KA多模块并联）,栅极电压30V。采用多量程设计架构，各量程下均可保证0.1%精度，具有uΩ级精确测量，pA 级漏电流测量能力。全自动程控软件，图型化上位机操作界面。内置开关切换矩阵保证测试效率。模块化结构设计预留升级扩展潜能。测试接口可外挂各类夹具和适配器，还能够通过专用接口连接各种Handler：如分选机、机械手、探针台、编带机等。

适用产品

可测Si, SiC, GaN 材料的IGBTs, DIODEs, LED,MOSFETs, BJTs, HEMTs, 电容，光耦等产品的生产测试。

参考标准

IEC 60747-8/9 半导体分立器件第8/9部分/JEDEC标准

设备特点

KC-3111系 统 包 含 ： 硬件平台 + 实时软件，可测试静态特性、IV 曲线、容阻测试（Rg、Cxss）、CV 曲线；主要特点如下:

量程宽：电压 2KV/3.5KV；电流 1KA/2KA/3KA/4000A（模块并联）高精度：多量程设计架构，各量程下均可保证 0.1%精度，具有 uΩ级精确测量、pA 级漏电流测量；

高效率：内置开关矩阵，自动切换测量单元，提高生产测试效率；

模块化：根据测试需求搭配不同规格测量单元。

在线高低温箱:选装-50℃~﹢150℃(最高 200℃)专用高精度实时在线高低温箱，支持 48 工位和 98 工位。圆形旋转盘，温度均匀性优秀选配温控模块也可与第三方温箱实现联动控制；

具备数据管理功能，上位机可实现数据曲线、报告及自动保存；

IV曲线：2K点以内的 IV 曲线实时扫描；CV曲线：栅电阻 Rg、反向传输电容 Cres、输入电容 Cies、输出电容 Coes、CV 曲线。

软件系统

技术参数